Leybold冷凍泵#萊寶高真空泵#萊寶COOLVAC低溫泵

COOLVAC vacuum pumps are gas entrapment cryo pumps where gaseous substances are bound to the cold surfaces within the pump by means of cryocondensation, cryosorption or cryotrapping. For that purpose the cold surfaces （cryopanels） must be cooled to a sufficiently low temperature. The COOLVAC pumps are cooled by two-stage cold heads of the COOLPOWER series using the Gifford/McMahon principle. COOLVAC pumps produce a hydro carbon free ultra high vacuum in the pressure range from 10^-3mbar to 10^-11 mbar （0.75•10^-3 to 0.75•10^-11Torr）.

Leybold萊寶低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的原理制作的真空泵。Leybold萊寶低溫泵是獲得清潔真空的極限壓力zui低、抽氣速率zui大的真空泵，Leybold萊寶低溫泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

Leybold冷凍泵#萊寶高真空泵#萊寶COOLVAC低溫泵

COOLVAC 800 BL
零件。844160V1006
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 ISO-K 
連接真空法蘭脫穎而出：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 800 BL
零件。844160V1002
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 CF 
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 800 BL
零件。844160V9002
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 CF 
脫穎而出真空連接法蘭：DN 40 CF

COOLVAC 800 CL
零件。844160V0006
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 ISO-K 
連接真空法蘭脫穎而出：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 800 CL
零件。844160V0002
泵送速度：800升/秒的
高真空連接法蘭：DN 160 CF 
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 1.500 CL
零件。844200V0006
泵送速度：1.500升/秒的
高真空連接法蘭：DN 200 ISO-K 
連接法蘭前真空：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 1.500 CL
零件。844200V0002
泵送速度：1.500升/秒的
高真空連接法蘭：DN 200 CF 
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 2.000 CL
零件。844250V0006
泵送速度：2.100升/秒
高真空連接法蘭：DN 250 ISO-K 
前真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 2.000 CL
零件。844250V0002
泵送速度：2.100升/秒
高真空連接法蘭：DN 250 CF 
前真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 3.000 CL
零件。844320V0006
泵送速度：3.000升/秒的
高真空連接法蘭：DN 320 ISO-K 
前真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 3.000 CL
零件。844320V0004
抽水速度：3.000升/秒
高真空連接法蘭：DN 10“ANSI 
脫穎而出真空連接法蘭：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 5.000 CL
零件。844410
抽氣速度：5.000升/秒
連接法蘭高真空：DN 400 ISO-K 
前真空連接法蘭：DN 40 ISO-KF

COOLVAC 10.000 CL 零件。844610V0006 泵送速度：10.000升/秒的 高真空連接法蘭：DN 500 ISO-K  連接真空法蘭脫穎而出：DN 40 ISO-KF

Leybold冷凍泵#萊寶高真空泵#萊寶COOLVAC低溫泵

COOLVAC 18.000 CL 零件。844630V0006 泵送速度：18.000升/秒 高真空連接法蘭：DN 630 ISO-F  前真空連接法蘭：DN 63 ISO-K

COOLVAC 30.000 CL 零件。DU0073 泵送速度：30.000升/秒 高真空連接法蘭：DN 35“ANSI  法蘭連接前真空：DN 63 ISO-K

COOLVAC 60.000 CL 零件。DU0074 泵送速度：57.000升/秒 高真空連接法蘭：DN 1250 ISO-F  前真空連接法蘭：DN 63 ISO-K

Leybold萊寶低溫泵的工作原理：在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí)，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時(shí)，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。②低溫吸附：氣體分子以一個(gè)單分子層厚 （10-8厘米數(shù)量級(jí)）被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用 20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過(guò)低溫吸附來(lái)進(jìn)行抽氣。③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長(zhǎng)的可冷凝氣體層埋葬和吸附。 
　　一般說(shuō)來(lái)，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。圖1為某些氣體的蒸氣壓力 -溫度關(guān)系曲線。從圖中可以看出溫度為120K時(shí),水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時(shí),除氦、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器，低溫板為20K時(shí),泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。