-
環(huán)保在線APP
開啟線上直播
微信公眾號(hào)
訂閱更多信息
環(huán)保在線小程序
更多流量 更易傳播
環(huán)保在線APP
開啟線上直播
微信公眾號(hào)
訂閱更多信息
環(huán)保在線小程序
更多流量 更易傳播
| 參考價(jià) | ￥ 650000 |
| 訂貨量 | ≥1000臺(tái) |
聯(lián)系方式：魚蛋小姐15766191432查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是 環(huán)保在線 上看到的信息，謝謝!
產(chǎn)品詳情
ulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 螺桿型干泵HR90/HR60/HR1200
ulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 螺桿型干泵HR90/HR60/HR1200
通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
特點(diǎn)
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
| 型號(hào) | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 機(jī)械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 質(zhì)量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 電源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
| N2吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮(zhèn) | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
摘要:ulvac-kiko水晶振蕩式成膜
[詳細(xì)]
摘要:ulvac-kiko真空閥真空角閥
[詳細(xì)]
摘要:ulvac-kiko高速光譜橢偏儀U
[詳細(xì)]
摘要:ulvac-kiko皮拉尼真空計(jì)恒
[詳細(xì)]
摘要:ulvac-kiko皮拉尼真空計(jì)傳
[詳細(xì)]
摘要:ulvac-kiko真空泵低溫泵排
[詳細(xì)]
摘要:ulvac-kiko真空泵低溫泵排
[詳細(xì)]
摘要:ulvac-kiko真空泵低溫泵排
[詳細(xì)]
環(huán)保在線 - 環(huán)保行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務(wù)平臺(tái)
客服熱線：0571-87209775 采購(gòu)熱線：0571-87759925 會(huì)展合作：0571-87759680
媒體合作：QQ聯(lián)系客服部：QQ聯(lián)系采購(gòu)部：QQ聯(lián)系市場(chǎng)部：QQ聯(lián)系
環(huán)保在線官微
環(huán)保在線APP
環(huán)保在線小程序
*您想獲取產(chǎn)品的資料：
個(gè)人信息：
